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真空计的分类及其适用量程范围

压力测量中,除极少数直接测量外,绝大多数是间接测量。就是先在被测气体中引起一定的物理现象,然后再测量这一过程中与压力有关的物理量,进而设法确定压力值。这是真空测量的特点,亦会造成某些问题。  1、真空

压力测量中,除极少数直接测量外,绝大多数是间接测量。就是先在被测气体中引起一定的物理现象,然后再测量这一过程中与压力有关的物理量,进而设法确定压力值。这是真空测量的特点,亦会造成某些问题。

  1、真空计(Vacuum gauge)是测量低于一个大气压力的气体或蒸气压力的仪器。

  2、真空计是从真空计本身测得的物理量直接计算出(或得出)压力的仪器。

  3、相对真空计则是必须经过真空计的校准之后才能进行真空度的测量。

  任何具体物理现象与压力的关系,都是在某一压力范围内才较显著,超出这个范围,关系变得弱了。因此,任何方法都有其一定的测量范围,这个范围就是真空计的“量程”。尽可能扩展每一种方法的量程,是真空科学研究的重要内容之一。近代真空技术所涉及到的压力范围宽达19个数级(105~10-14 Pa),没有任何一种真空计能测量如此宽的压力范围,因此总是用几种真空计分别管辖一定的区域。但由于各种真空计在原理上的差异.在相互衔接的区域,往往要造成较大的误差。由上观之,为改善真空计性能及提高真空测量准确度,必须突出主要现象,抑制寄生现象。表1给出一些真空计的压力测量范围。

  在较高压力时(105~1Pa)利用压力差U型管压力计,麦克劳真空计,薄膜计,弹簧管压力计等。 在103~10-2 Pa的中间压力范围,利用气体性质(热传导,粘性)的变化而做成的皮氏计、粘性真空计。在低压力时,使用将气体分子电离而测量的电离真空计。

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